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1) 高剛性高穩(wěn)定性床身

床身采用整體花崗巖結構,。由于高阻尼,、振動小、熱穩(wěn)定性好等特點，花崗巖可以保證磨床的高剛性和高穩(wěn)定性,。

2) 工作臺

工作臺采用整體花崗巖結構,。在傳統(tǒng)封閉靜壓導軌的基礎上,，研制出高剛性,、高精度的大平面封閉靜壓導軌，實現(xiàn)工作臺大行程,、穩(wěn)定可靠的往復運動,。工作臺由西門子直線電機驅(qū)動。同時,，為了防止直線電機的運動影響臺面,，直線電機專門設計了獨立的靜壓導軌。臺面的運動狀態(tài)由海德漢編碼器系統(tǒng)閉環(huán)控制,，從而保證臺面具有高精度,、快速響應的運動特性。

3) 柱子,、幻燈片和橫梁

它可以控制機器由于熱引起的變形,。柱子和橫梁由花崗巖制成。砂輪的水平位移滑塊放置在固定梁上，安裝砂輪架的垂直移動小車放置在水平位移滑塊上,。橫向位移和縱向運動由西門子伺服電機直接驅(qū)動高精度滾珠絲杠,，海德漢編碼器位置反饋完成。垂直移動小車的橫向位移滑塊和導軌也采用靜壓導軌,。此外,，垂直移動小車配備微進給機構，可實現(xiàn)輪架微進給0.1μm,。為減少輪架滑道自重及其橫向位移引起的橫梁變形,，在橫梁正上方設置卸荷裝置（卸荷梁）。用于承受輪架滑架的大部分重量,，通過海德漢光柵的位置反饋使卸料裝置與輪架橫向位移滑架的運動同步,，從而將橫梁變形對輪架的影響降到最低。研磨過程,。

4）砂輪架

研制了寬速,、高剛性、高精度砂輪靜主軸系統(tǒng),，實現(xiàn)砂輪的高剛性,、高精度旋轉(zhuǎn)運動。砂輪軸采用靜壓軸承支撐,，西門子內(nèi)置主軸電機,，采用冷卻液強制冷卻主軸電機，砂輪主軸配有砂輪平衡裝置,，配套管理控制程序可連續(xù)監(jiān)控狀態(tài)循環(huán)中的砂輪,，并立即檢測砂輪的情況。不平衡量得到補償,。

5) 測量系統(tǒng)

機床配備激光干涉儀作為加工精度的原位測量系統(tǒng)。通過機床工作臺的運動和小車橫向運動的測量,，激光干涉儀的鏡頭可以掃描所有加工區(qū)域,。機床磨削時，測量梁可以移動到加工范圍之外,。

超精密大尺寸光學玻璃平面磨床是針對國家重要光學工程產(chǎn)業(yè)的重大需求而研發(fā)的,。是具有高水平的超精密加工關鍵設備。本項目開發(fā)成功,，可實現(xiàn)450×1200mm光學玻璃的高精度,、高效率磨削，工件平面度可達3μm,，大大縮短后續(xù)磨拋時間,，可滿足超精密激光武器、航空航天等領域。大尺寸平板玻璃的大規(guī)模需求對我國天文科學,、國家重點工程和軍事裝備的發(fā)展具有重要意義,，將進一步推動我國光學和激光領域制造裝備的技術突破，提升核心競爭力和創(chuàng)造力,。